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无油真空泵都涉及哪些类型?

时间:2020-11-30 13:53来源:德耐尔真空泵 作者:Denair
随着社会科学技术的发展,越来越多的行业对清洁真空、环保等方面提出了严格的要求,以避免回油泄漏污染,因此无油真空泵得到了迅速的发展。由于起步较晚,许多企业用户只使用爪式真空泵和螺杆泵等上。事实上,无油真空泵涉及的不止这些类型。 当谈到无油真空

  随着社会科学技术的发展,越来越多的行业对清洁真空、环保等方面提出了严格的要求,以避免回油泄漏污染,因此无油真空泵得到了迅速的发展。由于起步较晚,许多企业用户只使用爪式真空泵和螺杆泵等上。事实上,无油真空泵涉及的不止这些类型。

 
无油真空泵都涉及哪些类型?
 
  当谈到无油真空泵时,先提到的是爪式真空泵。它是为电子半导体工业开发的干式真空泵。它能满足洁净真空的需要,具有高效的自动启闭阀门的作用,又很高的效率。
 
  然后是螺杆泵,螺杆泵和爪式真空泵都是非接触式无油真空泵,泵腔中不含油、水等物质,转子之间存在间隙,对颗粒物质和凝析气体具有一耐受性。同时,与爪形真空泵相比,由于没有相似的阀门结构,效率较低,但其气道通畅,转子结构简单,适应性较好,分别具有优势。
 
  涡旋真空泵的开发和生产主要集中在美国、日本和英国,因此许多国内企业不了解这个无油真空泵。广泛应用于分析仪器、半导体芯片生产线、科研设备、分子泵的前置泵和小型低温泵。
 
  根真空泵罗茨真空泵种类繁多,如湿式真空泵、干式真空泵、直排真空泵、普通真空泵、多级真空泵等,引起了一些用户对一的误解。事实上,中、高真空用机械增压泵和多级罗茨泵都是无油真空泵,抽油量大,应用广泛。
 
  无油旋转叶片真空泵和无油活塞真空泵(往复式泵)。普通的旋片式真空泵和活塞式真空泵虽然在泵腔内有油介质,但也可以利用自润滑材料实现无油运行,成为无油真空泵。另外,隔膜真空泵在往复泵中也没有油型。
 
  涡轮分子泵。它是一型原用于超高真空的无油真空泵。随着高出口压力、高流量的发展,其应用范围逐渐向中高真空领域发展。
 
  以上是目前常见的无油真空泵,除此之外,还有低温泵、吸附泵等能够实现清洁无油真空环境的气体捕集泵,但它们通常不被包括在无油真空泵中,所以这里就不在一一列举了。
 
       无油真空泵就介绍到这里了,祝您生活愉快~
 

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作者:德耐尔@德耐尔空压机  空压机修订日期:2020-11-30
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